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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-351PG-SP

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產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示：
M-351PG-SP

特長：
耐食性の向上
Niフィラメント採用等
再現(xiàn)性がよく低価格
5×10-2Paから大気圧

用途：
半導(dǎo)體、電子デバイス製造裝置
ドライエッチング裝置、プラズマCVD裝置、LD-CVD裝置など
食品99醫(yī)薬品製造裝置
真空凍結(jié)乾燥、真空蒸留裝置、滅菌裝置など

規(guī)格尺寸：
型　名 M-351PG-SP
（Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
測定圧力範(fàn)囲 5×10-2～1×105（Pa）
精度（Pa） ±50％：5×10-2　～　1×10-1
±15％：1×10-1　～　1×104
±50％：1×104　～　1×105
再現(xiàn)性 ±2％?。骸?×10-1　～　1×104Pa
入力電圧 DC+14～30V
消費(fèi)電力 2W
アナログ出力 0～10V
ゲージ認(rèn)識(shí)抵抗値 13KΩ（D-sub5-9番ピン間）
セットポイント 2接點(diǎn)出力（1A30V,DC）
インターフェース －
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 200ｍ（0.34mm2）対応可能＊1
使用溫度範(fàn)囲 5～60℃
保存溫度範(fàn)囲 -20～70℃（非動(dòng)作時(shí)）
ベーキング溫度 ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）
＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
許容過負(fù)荷圧力 1MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
適合ピラニセンサ型名 MP-2
フランジ形狀 NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(zhì)（主要部） ピラニフィラメント：ニッケル
センサーチューブ：ステンレス
導(dǎo)入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート
保護(hù)規(guī)格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応